□本报记者张双双本报通讯员李晓琳
“创新是个求变的过程,但过程中,如果没有百折不挠的韧劲儿,是不会成功的。”2025年德州市“七一”榜样专题党课上,山东有研半导体材料有限公司硅片制造部副部长郑宇有感于自己成长的心路历程。“正是这种对创新的极致追求,在3年时间里我们将产品良品率从80%提升至95%,用‘毫厘之功’在国际市场上打开局面,产品市场占有份额提高了5个百分点。”他说。
出生于1991年的郑宇,毕业于燕山大学材料科学与工程学院,2013年10月加入中国共产党,在山东有研半导体材料有限公司从事集成电路用6英寸、8英寸半导体硅片的科研生产工作。
他自称是一个扎根德州的“新德州人”。有研集团在德州建设集成电路用大尺寸硅材料生产项目,自生产基地建成后,以郑宇为代表的硅片制造团队便来到德州,从设备安装调试到产品通线量产,一切都是从头开始。
安装不易、调试更难。自设备安装完之后,郑宇便和十几名工程师以厂为家,工作台上堆满了各类调试数据和参数文档。经过两个月昼夜奋战,他们成功搭建起一条包含切片、倒角、研磨腐蚀、抛光、清洗检测等30道完整工序的现代化生产线。每道工序精度均控制在1微米以内,相当于头发丝直径的八十分之一。
2020年10月,8英寸集成电路用硅片项目通线量产。郑宇回忆说:“当闪着金属光泽的硅片在清洗槽中出来的时候,车间里爆发出阵阵欢呼声,经过大家的不懈努力,我们最终把产品量产时间提前了整整半年。”这也是德州市重点项目建设的新突破,填补了德州半导体硅材料制造空白。
接下来的3年时间,郑宇和研发团队不断试验、改进,经过148次参数校准,完成了23项自主设计,最终成功研制出首台国产硅片清洗机。
他们形象地将这台设备称为“争气机”,企业自此用上了自主生产的设备,让硅片生产成本降了一半。
目前,公司研发团队已将硅片的良品率从80%提升至95%,这背后是团队夜以继日的辛勤付出。郑宇说,硅片的良品率每提升一个百分点都非常难,但同时这一个百分点的提升又将给企业带来更大的竞争优势。“我们团队梳理了全部的工艺参数,把每道工序拆解为成百上千的控制要点。我在研磨台前连续值守72小时,最终把硅片平整度从3微米压到0.8微米。”
郑宇说,在当前产业竞争持续加剧的背景下,他们将紧盯行业前沿,加快研发创新,持续为德州半导体产业发展作出贡献。