山东有研的无尘车间

□张海峰贺莹莹刘潇韩哲

11月18日，山东省人民政府发布关于表彰第十届山东省省长质量奖及提名奖获奖单位和个人的通报，山东有研半导体材料有限公司（以下简称山东有研）总经理、正高级工程师张果虎荣获本届省长质量奖。“这份荣誉既是对个人工作的肯定，更是对企业质量管理体系的认可。”张果虎表示。

集成电路是信息产业的核心，德州市主动融入京津冀协同发展战略，先后引进了集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目、12英寸集成电路用大硅片产业化项目、集成电路刻蚀设备用硅材料项目硅片等重点项目，形成了包含设计、材料、封装、测试在内的集成电路产业微集群，其中“有研系”已在德州建设了七大项目。前不久，世界集成电路协会发布《2025年全球集成电路产业综合竞争力百强城市白皮书》，山东省共有济南、青岛和德州等3个城市入选，德州列第99位。

作为“有研系”落地德州的首个项目，山东有研半导体6—8英寸硅片项目如今已实现月产50万片的稳定产能。谈及项目在行业内保持领先的秘诀，张果虎直言，这离不开企业对产品质量的极致追求。“一片硅材料的生产要经过十几道工序，每一道工序我们都制定了严格的企业内控标准。硅片作为高纯度材料，核心要求就是‘平、纯、洁’，我们早已把‘质量控制’深度融入工艺DNA之中。”张果虎介绍。产品平整度达到纳米级，相当于让3万个晶体管“整齐入住”同一层楼，每片硅片都拥有专属“电子身份证”，上百个工艺参数实时上传系统，实现产品片片可追溯，甚至能精准定位到单晶原位置。不仅如此，企业还创新应用CPDAS单晶大数据平台、硅片形貌分析系统、缺陷密度AI判读系统这三大智能制造“法宝”，用智慧手段为产品质量筑起坚实防线。

回忆起5年前8英寸硅片项目通线量产时的场景，张果虎仍记忆犹新：“当时有人问我，项目面临的最大挑战是什么？ 我回答，是如何在激烈的市场竞争中以高质量站稳脚跟。如今我们能在行业内保持优势，正是因为始终严守质量管控标准。产能可以复制，但科技创新与产品质量，才是企业实现高质量发展的关键。”

质量的坚守离不开全员参与的文化根基。山东有研多年来坚持每月召开质量分析会、开展全员质量培训与月度质量员工评选，通过竞赛、评比等多元化形式，让“质量无小事”的理念深入人心。对质量的坚守，让山东有研赢得了市场与客户的广泛认可，生产线常年保持满产状态。公司常务副总经理刘斌分享了一个案例：“此前，山东省的集成电路产业发展相较于珠三角、长三角地区存在一定差距。一知名车企在山东建厂，提出每月3万片硅片的需求——这些硅片将用于新能源核心芯片，对质量要求极高。而我们第二次送样就成功达标，并且从那时起一直为该车企供应至今。”

如今，山东有研生产的硅片有100多种，广泛应用于各类芯片产品，背后是企业对新产品研发与技术迭代的持续投入。近期，在特色化硅片产品领域，企业再传捷报：超低阻硅片已实现规模化量产，市场反响良好；8英寸区熔硅片、超低氧硅片及多晶硅铸锭等新产品的客户认证进程正在加速推进，产品结构的多样性与市场竞争力不断提升。此外，企业还联合上游供应商搭建连续拉晶生长平台，聚焦关键原材料、设备与工艺研发，为未来单晶连续生长技术的产业化布局奠定坚实基础。

目前硅片正朝着大尺寸化、制程精细化方向迈进，但山东有研并未止步于硅片制造，而是将目光投向半导体核心零部件生产领域，逐步向产业链下游延伸，持续完善产业布局。“项目落地德州以来，发展速度和投资进度远超当初预期，这离不开当地政府营造的优质营商环境。”张果虎感慨道，“最初从北京来到德州的200余名核心技术人员，没有一人离开，如今我们都成了‘新德州人’。近些年，山东省对集成电路产业高度重视，出台了一系列扶持政策，已在全国乃至全世界的产业版图和市场竞争中占据了一席之地。我们也期待着，‘十五五’时期，山东的集成电路产业能实现跨越式发展，再上一个大台阶。”