1月30日，在德州职业技术学院集成电路制造工艺实践中心，光刻机将设计好的电路图形“雕刻”到硅片上。“这是光刻环节，是决定芯片功能的关键一步。”德州职业技术学院教师赵宁宁介绍。

近年来，我市将集成电路产业作为“一号产业”全力打造，德州职业技术学院2021年设立集成电路专业，2025年成立集成电路产业学院。但因设备、场地等原因所限，难以提供覆盖芯片制造全链条的真实实训场景。

为破解这一难题，今年1月份，该院建设的集成电路制造工艺实践中心投用，建成一条涵盖薄膜制备、光刻图形化、刻蚀、清洗去胶、封装键合、功能测试六大模块的“教学型”芯片制造流程线，实现从一枚裸硅片起步，到最终制作出具备特定功能、可实际测试的集成电路芯片，其制作工艺精度可达3微米。据了解，该中心是我国北方地区职业院校中首个实现从“硅片”到“芯片”全流程制造的实践教学平台。

此外，该平台不仅将企业初级工艺培训前置到校园，实现学生毕业即上岗，还为本地中小微科技企业及创新团队提供小批量流片、工艺试验和原型验证服务，进一步延展德州市集成电路产业链。

“为用好实践中心，学校将通过课程改革、教材开发、师资锻炼、‘岗课赛证’融通等方式，进一步提升教学水平，推动集成电路专业实现快速发展。”德州职业技术学院党委委员、副院长梁强说。

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记者|王露 通讯员|李金甫
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